[实用新型]一种高远心度紫外扫描场镜有效
申请号: | 202120020766.1 | 申请日: | 2021-01-05 |
公开(公告)号: | CN214291376U | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 邹武兵;李璟;段家露;吴飞龙 | 申请(专利权)人: | 深圳市韵腾激光科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/064 | 分类号: | B23K26/064;G02B13/00;G02B26/10 |
代理公司: | 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 | 代理人: | 赵爱蓉 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高远心度紫外扫描场镜,包括沿光束传播方向依次设置的呈双凹结构且焦距为负的第一透镜lens1、呈弯月结构且焦距为正的第二透镜lens2、呈弯月结构且焦距为正的第三透镜lens3、呈弯月结构且焦距为正的第四透镜lens4、呈弯月结构且焦距为正的第五透镜lens5以及呈平板结构的保护镜SG。本实用新型可使得扫描场镜的入瞳成像到无穷远,其扫描视场内的像方质心远心度<0.2°,有助于解决一般激光扫描场镜加工图形时存在的位置偏差、激光钻孔产生锥度孔等加工不精确的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 高远 紫外 扫描 | ||
【主权项】:
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