[实用新型]一种高远心度紫外扫描场镜有效

专利信息
申请号: 202120020766.1 申请日: 2021-01-05
公开(公告)号: CN214291376U 公开(公告)日: 2021-09-28
发明(设计)人: 邹武兵;李璟;段家露;吴飞龙 申请(专利权)人: 深圳市韵腾激光科技有限公司
主分类号: B23K26/064 分类号: B23K26/064;G02B13/00;G02B26/10
代理公司: 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 代理人: 赵爱蓉
地址: 518000 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种高远心度紫外扫描场镜,包括沿光束传播方向依次设置的呈双凹结构且焦距为负的第一透镜lens1、呈弯月结构且焦距为正的第二透镜lens2、呈弯月结构且焦距为正的第三透镜lens3、呈弯月结构且焦距为正的第四透镜lens4、呈弯月结构且焦距为正的第五透镜lens5以及呈平板结构的保护镜SG。本实用新型可使得扫描场镜的入瞳成像到无穷远,其扫描视场内的像方质心远心度<0.2°,有助于解决一般激光扫描场镜加工图形时存在的位置偏差、激光钻孔产生锥度孔等加工不精确的问题。
搜索关键词: 一种 高远 紫外 扫描
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