[发明专利]一种高带宽空腔型薄膜体声波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202111670601.X | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114362711A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 河源市艾佛光通科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 广州容大知识产权代理事务所(普通合伙) 44326 | 代理人： | 刘新年 |
| 地址： | 517000 广东省河源市高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高带宽空腔型薄膜体声波谐振器及其制备方法。该谐振器按照从下向上的顺序依次包括衬底、键合层、底电极、复合压电薄膜和顶电极；其中，所述顶电极、所述复合压电薄膜和所述底电极形成三明治结构；所述复合压电薄膜为若干层压电层叠加组成；所述衬底、所述键合层、所述底电极包围形成有空气腔。本发明的谐振器在给顶电极通电后，复合压电薄膜产生形变并激励出体声波，并且当所述体声波传输到复合压电薄膜与底电极之间时，由于空气腔的存在，所述体声波在底电极的表面发生全反射，并被限制在顶电极与底电极之间，形成了谐振。且由于复合压电薄膜的机电耦合系数较高，进一步提高薄膜声波谐振器的带宽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带宽 空腔 薄膜 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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