[发明专利]一种光刻胶中鎓盐类光致产酸剂的鉴定方法有效
| 申请号： | 202111647566.X | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114414711B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 高剑琴;胡小娜;李秋荣;纪爱亮;鲁代仁;董栋;张宁 | 申请（专利权）人： | 北京彤程创展科技有限公司;上海彤程电子材料有限公司;彤程新材料集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/06 | 分类号： | G01N30/06;G01N30/88 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 李爱民;相黎超 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区北京经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及光刻胶分析技术领域，具体涉及一种光刻胶中鎓盐类光致产酸剂的鉴定方法，包括以下步骤：S1、光刻胶的预处理：向待测光刻胶样品中加入提取液，直至光刻胶样品中有沉淀物析出，去除沉淀物，得到待测清液；S2、待测清液的GC‑MS分析检测：待测清液采用气相色谱质谱联用仪进行检测，得到GC‑MS总离子流色谱图；S3、鎓盐类光致产酸剂的鉴定：在GC‑MS总离子流色谱图中分别提取m/z=186、262、431、281、393的特征离子碎片峰；通过比对提取离子色谱图中各组分的保留时间和质谱图，鉴别鎓盐类光致产酸剂。本申请采用GC‑MS方法对鎓盐光致产酸剂进行鉴定，满足微量分析，鉴定精准、判断快速。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶中鎓 盐类 光致产酸剂 鉴定 方法 | ||
【主权项】：
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