[发明专利]一种宽带响应的软X射线偏振镜及其制备方法在审
| 申请号： | 202111627125.3 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN114200569A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 朱京涛;杨泽华;朱忆雪;屠洛涔;金宇;梅晓红 | 申请（专利权）人： | 苏州闻道电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 215400 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种宽带响应的软X射线偏振镜及其制备方法，涉及精密光学系统技术领域，所述软X射线偏振镜为非周期多层膜结构的偏振镜；所述软X射线偏振镜包括基底以及设置在所述基底上的膜层序列；所述膜层序列包括多个且非周期排列的膜层，分别为第一膜层和第二膜层，且所述第一膜层和所述第二膜层交替设置；各个所述第一膜层的厚度和各个所述第二膜层的厚度均是通过Igor数值算法推导确定的。本发明用于实现宽谱的软X射线波段起偏与检偏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 宽带 响应 射线 偏振镜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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