[发明专利]提高石英坩埚品质的制备装置及方法在审
| 申请号： | 202111623943.6 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN114230139A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 马万保;李卫;李常国;何玉鹏;邓红;王建军;唐文豪 | 申请（专利权）人： | 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B5/02 | 分类号： | C03B5/02;C03B20/00 |
| 代理公司： | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 | 代理人： | 邢芳丽 |
| 地址： | 750000 宁夏回族自*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明公开一种提高石英坩埚品质的制备装置及方法，所述装置包括熔制室、熔制模具、起弧遮挡组件和石墨电极，起弧遮挡组件以转动的方式安装在熔制室上，熔制模具安装在熔制室内，石墨电极安装在熔制室上方并以升降的方式可伸入或退出熔制模具，起弧遮挡组件通过转动可移动至熔制模具的开口上方将石墨电极和熔制模具隔离，在石墨电极起弧预热阶段将石墨电极产生的残渣、灰粉收集在起弧遮挡组件内，避免了残渣和灰粉进入熔制模具内对石英砂造成污染，石墨电极预热完成后，转动起弧遮挡组件离开熔制模具的开口，将石墨电极伸入熔制模具内对成型的石英砂加热，制得石英坩埚内表面纯度提升，增加了石英坩埚制造的合格率，降低了石英坩埚的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 石英 坩埚 品质 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
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