[发明专利]一种基于成像清晰度的显微镜像差校正装置在审

专利信息
申请号: 202111617209.9 申请日: 2021-12-27
公开(公告)号: CN114488520A 公开(公告)日: 2022-05-13
发明(设计)人: 周龙峰;任钢;赵琦;陈好;张浩 申请(专利权)人: 西南技术物理研究所
主分类号: G02B27/00 分类号: G02B27/00;G02B21/00
代理公司: 中国兵器工业集团公司专利中心 11011 代理人: 刘二格
地址: 610041 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种基于成像清晰度的显微镜像差校正装置,包括光学显微镜、波前校正器、成像探测器、控制器、反射镜,建立显微镜像差实时监测闭环控制回路,其中光学显微镜包含物镜、目镜。波前校正器能够对显微镜系统光路波前相位进行调制,成像探测器能够对显微镜系统光学成像进行探测,控制器能够将成像探测器获取的图像信息进行清晰度计算并计算出波前校正器的校正参数,最终对波前校正器施加校正参数,实现对成像清晰度下降进行校正。本发明可以运用已有的光学显微镜系统,该系统只需增加波前校正器、反射镜,控制过程简单可行,能够提升显微镜光学系统的分辨率,具有实际应用的意义。
搜索关键词: 一种 基于 成像 清晰度 显微镜 校正 装置
【主权项】:
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