[发明专利]一种提高镀膜层附着力的工艺有效
| 申请号： | 202111597745.7 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114260155B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 彭杰真 | 申请（专利权）人： | 深圳市山禾乐科技开发有限公司 |
| 主分类号： | B05D1/00 | 分类号： | B05D1/00;B05D1/36;B05D7/02;B05C9/06;B05C15/00;B05C13/02 |
| 代理公司： | 深圳市远航专利商标事务所(普通合伙) 44276 | 代理人： | 田志远;袁浩华 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华新区观澜*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高镀膜层附着力的工艺，属于气相沉积技术领域，目前的派瑞林镀膜层前期偶联剂附着不均匀，且气相沉积时镀膜层厚度不均匀，导致镀膜层附着力低，容易脱落，本方案包括如下步骤：将工件进行清洗；将工件放入烘箱中，烘干清理工件表面的吸附的水汽；将工件放入涂覆机的蒸镀反应罐内；将反应罐密闭，并抽真空将硅烷偶联剂通过海绵吸附，将海绵投入反应罐内，按涂覆机要求进行偶联剂蒸涂；将派瑞林加入反应罐内，按涂覆机要求进行气相沉积涂覆派瑞林；系统放气、取出工件。硅烷偶联剂通过海绵吸附，增加分布面积，蒸汽均匀分布到反应罐腔室内，使得偶联剂均匀蒸涂在工件表面，然后再气相沉积涂覆派瑞林，提高镀膜层的附着力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 镀膜 附着力 工艺 | ||
【主权项】：
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