[发明专利]一种微型柔性电极阵列及测试方法有效
| 申请号： | 202111597317.4 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114280453B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 吕毅军;钟晨明;杨晓;郭伟杰;朱丽虹;高玉琳;陈忠 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种微型柔性电极阵列及测试方法，涉及芯片和芯片检测工具。微型柔性电极阵列包括：透明基板；透明基板上表面设金属线路层，金属线路层远离透明基板的一面设透明或半透明柔性缓冲层；缓冲层在金属线路层上表面，金属电极层在缓冲层上表面及侧面，金属电极层与金属线路层连接，金属电极层正对于待检测微型芯片电极，绝缘层在两层金属线路层中间。移动透明基板使金属电极层与待检测微型芯片电极对准接触，对待测微型芯片通电测试特性，筛选芯片。柔性结构避免待测微型芯片被探针损伤，利于与待测微型芯片不平整电极的可靠接触，透明基板、透明或半透明缓冲层方便与待测微型芯片电极准确对准；电极阵列有利待测微型芯片批量测试，提高芯片检测速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 柔性 电极 阵列 测试 方法 | ||
【主权项】：
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