[发明专利]一种用于单晶炉的加料装置在审
申请号: | 202111597255.7 | 申请日: | 2021-12-24 |
公开(公告)号: | CN114438583A | 公开(公告)日: | 2022-05-06 |
发明(设计)人: | 刘军波;牛照伦;王三朋 | 申请(专利权)人: | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B29/06 |
代理公司: | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人: | 史雅琪 |
地址: | 055550 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明属于单晶硅生产设备技术领域,具体公开了一种用于单晶炉的加料装置,包括:加料筒,用以储料和向单晶炉内加料,外侧壁上设有定位槽;法兰,套设于所述加料筒外侧;支撑件,固定设置于所述定位槽内;连接件,将所述法兰和所述支撑件固定相连以使所述法兰固定定位在所述加料筒上。本方案使支撑件固定定位在定位槽中,安装方便,定位稳定可靠,而且如果法兰损坏可以直接拆卸更换法兰,提高生产效率,降低成本;相比于现有利用焊接工艺来固定法兰而言,本申请利用定位槽、支撑件和连接件对法兰进行机械固定,避免环境污染,生产成本可降低约一半;而且定位槽不用进行退火、冷加工等工序,加工更加简单,可消减多项生产环节大幅度提供工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 单晶炉 加料 装置 | ||
【主权项】:
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