[发明专利]一种RCZ直拉法大热场拉多晶工艺在审
| 申请号： | 202111594479.2 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114232075A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 马新星;王军磊;王艺澄 | 申请（专利权）人： | 包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 艾中兰 |
| 地址： | 014010 内蒙古自治区*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种RCZ直拉法大热场拉多晶工艺，具体：（1）操作人员对单晶拉制过程中的情况进行判定，根据判定直接从单晶等径工序进入多晶等径工序；（2）当多晶长度达到要求时，开始自动多晶提出工艺，具体为：坩埚自动下降30mm；晶升以180mm/h的速度提升到副室，在副室内保压冷却30分钟后，将副室升上上限位，将副室旋转速度降到副室正常选转速度的50%，副室旋转加速度时间设置为正常的两倍进行晶棒旋出，旋出后正常取棒即可；该工艺提高了多晶的强度，降低多晶坠落导致的异常事故的发生，提高多晶的可利用性，提高安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 rcz 直拉法大热场拉 多晶 工艺 | ||
【主权项】：
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