[发明专利]一种基于振镜系统的激光光束抖动校正装置与方法在审
| 申请号： | 202111590272.8 | 申请日： | 2021-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN114273775A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 李明;李珣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B23K26/042 | 分类号： | B23K26/042;G02B26/08 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 唐沛 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于振镜系统的激光光束抖动校正装置与方法，解决了现有离线测量无法校正加工过程中出现的激光光束指向不稳定现象以及从激光前端完成校正后，无法避免在加工过程中外部环境及后续的光学器件对激光光束的影响，该校正装置包括取样镜、第一聚焦镜、分光镜、第二聚焦镜，第一PSD和第二PSD；取样镜用于将振镜系统的出射光束分束为一路反射加工光和一路透射检测光；反射加工光同过第一聚焦镜聚焦于待加工目标上；透射检测光经过分光镜反射后被第一PSD接收；透射检测光经过分光镜透射后经过第二聚焦镜被第二PSD接收；取样镜到第一PSD的距离，与取样镜到待加工目标表面的距离相等，使得第一PSD和待加工目标表面形成光程共轭。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 系统 激光 光束 抖动 校正 装置 方法 | ||
【主权项】：
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