[发明专利]一种用于衰荡腔的柔性密封调谐装置有效
| 申请号： | 202111589890.0 | 申请日： | 2021-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN114235706B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 何建国;王金舵;刘洋;轩新想;代守军;葛文琦;凡炼文;李昊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空天信息创新研究院 |
| 主分类号： | G01N21/03 | 分类号： | G01N21/03;G01N21/31;F16L21/03;F16L27/107 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;陈亮 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于衰荡腔的柔性密封调谐装置，包括气路密封结构、柔性密封连接器结构、腔镜姿态控制结构、免紧固件状态固化结构、机械基准定位结构。气路密封结构用于对待测样品气体流动进行控制与密封保持；柔性密封连接器结构包括与柔性密封连接组件关联的密封结构；腔镜姿态控制结构包括可拆卸精密调节支架和调节支杆；免紧固件状态固化结构用于实现高反射率腔镜调谐完成之后的低应力封装固化过程；机械基准定位结构采用V形槽机械基准，利用V形槽机械基准实现在光轴方向上的前后移动，进而实现不同纵模匹配的衰荡腔。该装置能够在衰荡腔的调试过程中保证其高精细度、高稳定性、高密封性以及高刚性的高质量装校。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 衰荡腔 柔性 密封 调谐 装置 | ||
【主权项】：
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