[发明专利]探测器响应度测试结构、方法及装置在审
| 申请号： | 202111583020.2 | 申请日： | 2021-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN114323103A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 肖志雄;胡志朋;李江;冯俊波 | 申请（专利权）人： | 联合微电子中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G01D18/00 | 分类号： | G01D18/00 |
| 代理公司： | 北京北汇律师事务所 11711 | 代理人： | 马亚坤 |
| 地址： | 401332 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及测试设备领域，更为具体来说，本发明涉及一种探测器响应度测试结构，该探测器响应度测试结构包括第一导光单元、第二导光单元、第一传光件和第二传光件，第一导光单元和第二导光单元均用于接收和输出光信号，第一导光单元与第二导光单元光连接，第一导光单元靠近第二导光单元的一端与第一传光件的一端光连接，第二导光单元靠近第一导光单元的一端与第二传光件的一端光连接。由于探测器响应度测试结构在测试过程中并未改变，只需更改光的输入位置即可，可以提高光探测器响应度测试的效率，且第一导光单元和第二导光单元的插损在计算时可以抵消，可以提高光探测器响应度测试的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 探测器 响应 测试 结构 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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