[发明专利]一种晶圆定中心装置在审
| 申请号： | 202111580687.7 | 申请日： | 2021-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN114434011A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 沈晓宇;吴汪程;叶国伟;肯尼斯·奥佐门纳;彼得·辛格;张忠杰;冯纪慧;连旗锋;李嘉炜 | 申请（专利权）人： | 浙江东尼电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/70;B23K37/04 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 赵佳 |
| 地址： | 313000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于镭射打标机技术领域，尤其涉及一种晶圆定中心装置。本发明通过用于支撑晶圆的底板单元，设置在底板单元上并用于夹持晶圆侧面的侧板单元，设置在侧板单元上并用于夹持晶圆顶面的升降板单元，以及设置在侧板单元上并用于调整升降板单元高度的转盘单元起到了为晶圆确定中心位置的技术效果。本发明具有结构简单，安装方便，通过一步卡合作用即可实现晶圆的中心确定，并且可通过旋转调节升降板的方式进一步卡合固定晶圆避免轻微晃动导致打标过程不准，同时转盘具有自限位功能使得在不工作的情况下不会随意旋转导致装置运行不稳定，以及通过一步简单推动的动作即可实现对转盘柱的解锁使用方便的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆定 中心 装置 | ||
【主权项】：
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