[发明专利]促进原料组分恒定和流动性的半导体晶体生长装置在审
| 申请号： | 202111576463.9 | 申请日： | 2021-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN116334747A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 司志伟;刘宗亮;徐科 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | C30B19/02 | 分类号： | C30B19/02;C30B19/06;C30B19/08;C30B29/40 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种促进原料组分恒定和流动性的半导体晶体生长装置。所述半导体晶体生长装置包括：生长腔室、设置于生长腔室内的反应容器和原料补充容器；所述反应容器用于承载晶体生长所需的籽晶和/或衬底以及容置晶体生长所需的生长原料；升降机构，所述升降机构与所述反应容器和/或原料补充容器传动连接，并至少用于驱使所述反应容器和/或原料补充容器沿预定方向运动，所述反应容器能够相对运动至所述原料补充容器内并与所述原料补充容器相连通。本实施例提供的一种半导体晶体生长装置，可以持续向反应容器中补充相同组分配比的生长原料，保持反应容器中的生长原料化学组分恒定，提高单晶生长质量的片内均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 促进 原料 组分 恒定 流动性 半导体 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
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