[发明专利]太阳能晶硅电池绿光超快激光刻槽方法和系统在审
申请号: | 202111575780.9 | 申请日: | 2021-12-22 |
公开(公告)号: | CN116329770A | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 请求不公布姓名 | 申请(专利权)人: | 北京赢圣科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/364 | 分类号: | B23K26/364;B23K26/0622;B23K26/70 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100044 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种太阳能晶硅电池绿光超快激光刻槽方法和系统,所述方法包括步骤:上料、激光刻槽和下料;所述激光器为能够在高重复频率下发射高能量单脉冲且单脉冲能量一致性高的绿光超快激光器,所述高重复频率为100KHz‑1MHz之间的一定值,所述高能量单脉冲能量为10uJ‑100uJ,所述单脉冲能量一致性为≤±5%。本发明的刻槽方法是通过高单脉冲能量的超快激光汽化材料加工面来实现刻槽,几乎没有热影响区出现,刻槽线宽可小于10um。 | ||
搜索关键词: | 太阳能 电池 绿光超快 激光 方法 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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