[发明专利]含氟气体缓冲罐在审
| 申请号： | 202111572909.0 | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN114225565A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 陈贵生;姚剑;钱渊;杜林;刘阳;姜迪;仝路路;李玉兰;刘忠英;唐晓星;马继飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 主分类号： | B01D45/06 | 分类号： | B01D45/06;B01D45/08;B01D53/00;B01D5/00 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 邹玲;余化鹏 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种含氟气体缓冲罐，该含氟气体缓冲罐包括罐体，罐体为卧式罐体；罐体的入口侧为颗粒物沉降区，出口侧为降温冷凝区；颗粒物沉降区和降温冷凝区设有迷宫结构；降温冷凝区上部设有换热器。上述含氟气体缓冲罐，利用沉降和冷凝，可去除大部分颗粒物和部分HF，有效防止管道堵塞；对气溶胶、氟化物、水汽的去除也有一定效果，保证了后续尾气排出口氟化物的浓度在允许范围内，降低后续处理负荷。 | ||
| 搜索关键词： | 氟气 缓冲 | ||
【主权项】：
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