[发明专利]一种TiNb涂层的镀膜方法在审
| 申请号： | 202111570093.8 | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN114411098A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 毕凯;陈大民 | 申请（专利权）人： | 嘉兴岱源真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/16;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 燕宏伟 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种TiNb涂层的镀膜方法，所述TiNb涂层的镀膜方法的TiNb合金靶材的配比为Nb＝55～65％，其余为Ti，事先设置好了靶材中Nb和Ti的配比，因此在TiNb合金靶材蒸发产生相应离子，沉积到被镀工件表面形成TiNb膜层时，能精准控制Nb和Ti蒸发比例。并且TiNb合金靶材的该配比为最佳比例，使得在最佳配比下形成的TiNb膜层的成分配比为Nb＝60％～63％，其余为Ti、N、以及Ar，使所述TiNb膜层具有更好的强度。相较于两种单质靶材混合镀，操作更简单，并使TiNb膜层的比例更精准，提高TiNb膜层的强度和被镀件的耐用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tinb 涂层 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于嘉兴岱源真空科技有限公司，未经嘉兴岱源真空科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111570093.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
