[发明专利]基于Pt颗粒修饰的氧化锡/氧化锌核壳纳米片结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用在审

专利信息
申请号: 202111563129.X 申请日: 2021-12-20
公开(公告)号: CN114324496A 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 卢红亮;吴雪颜;朱立远 申请(专利权)人: 复旦大学
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12;C23C28/00;C23C16/455;C23C16/40;C23C14/58;C23C14/35;C23C14/18;B81B7/02
代理公司: 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人: 王洁平
地址: 200433 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种基于Pt颗粒修饰的氧化锡/氧化锌核壳纳米片结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明用化学溶液法制备氧化锡核层纳米片,再结合原子层沉积技术,得到氧化锡/氧化锌核壳结构纳米片,最后采用磁控溅射生长Pt薄膜,实现了MEMS基原位生长。本发明制备方法具有可重复性强,成品率高,制备效率高,可规模化生产等优点。本发明构建的气敏纳米材料应用于气体传感时灵敏度大幅提升,具有高选择性,展现了更加优异的气敏性能。本发明的气敏纳米材料能够对部分微量气体进行检测,并且对硫化氢气体具有优异的选择性,为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供了坚实的技术支持。
搜索关键词: 基于 pt 颗粒 修饰 氧化 氧化锌 纳米 结构 材料 制备 工艺 及其 应用
【主权项】:
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