[发明专利]基于Pt颗粒修饰的氧化锡/氧化锌核壳纳米片结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用在审
申请号: | 202111563129.X | 申请日: | 2021-12-20 |
公开(公告)号: | CN114324496A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 卢红亮;吴雪颜;朱立远 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12;C23C28/00;C23C16/455;C23C16/40;C23C14/58;C23C14/35;C23C14/18;B81B7/02 |
代理公司: | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人: | 王洁平 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于Pt颗粒修饰的氧化锡/氧化锌核壳纳米片结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明用化学溶液法制备氧化锡核层纳米片,再结合原子层沉积技术,得到氧化锡/氧化锌核壳结构纳米片,最后采用磁控溅射生长Pt薄膜,实现了MEMS基原位生长。本发明制备方法具有可重复性强,成品率高,制备效率高,可规模化生产等优点。本发明构建的气敏纳米材料应用于气体传感时灵敏度大幅提升,具有高选择性,展现了更加优异的气敏性能。本发明的气敏纳米材料能够对部分微量气体进行检测,并且对硫化氢气体具有优异的选择性,为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供了坚实的技术支持。 | ||
搜索关键词: | 基于 pt 颗粒 修饰 氧化 氧化锌 纳米 结构 材料 制备 工艺 及其 应用 | ||
【主权项】:
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