[发明专利]一种曝光机玻璃基板表面温度控制方法在审
| 申请号： | 202111542618.7 | 申请日： | 2021-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN114153128A | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 韩永林 | 申请（专利权）人： | 江苏特纳马智能制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城经济*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种曝光机玻璃基板表面温度控制方法，其控制方法包括以下步骤：A、在玻璃基板底部设置第一温度传感器，并在玻璃基板底部且位于第一温度传感器的外侧设置第一散热机构；B、在曝光机内部设置第二温度传感器，并在曝光机内部且位于第二温度传感器的外侧设置第二散热机构；C、在玻璃基板顶部设置第三温度传感器，并在玻璃基板顶部且位于第三温度传感器的外侧设置第三散热机构。本发明将三个温度传感器分别设置在玻璃基板底部、曝光机内部和玻璃基板顶部，并分别控制三组散热机构，从而可实现对玻璃基板底部、玻璃基板侧面和玻璃基板顶部进行全方位散热的目的，有效提高了对曝光机玻璃基板表面的降温效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 玻璃 表面温度 控制 方法 | ||
【主权项】：
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