[发明专利]超声换能器单元、超声换能器阵列及其制备方法在审
| 申请号： | 202111536451.3 | 申请日： | 2021-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN114242890A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 张文栋;何常德;张彦军;薛晨阳;任勇峰;王红亮;甄国涌;张国军;杨玉华;王任鑫;崔建功;焦新泉;沈姝君;卢小星 | 申请（专利权）人： | 中北大学;太原市华纳方盛科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02 |
| 代理公司： | 北京致科知识产权代理有限公司 11672 | 代理人： | 董玲;魏红雅 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开一种超声换能器单元、超声换能器阵列及其制备方法，涉及电容式微机械超声换能技术领域，该超声换能器阵列中的超声换能器单元包括：相互键合的上基板和下基板，上基板由下至上依次包括第一器件层、第一绝缘层和至少一个图案化的上电极；下基板为SOI基板，由下至上依次包括下电极、第二绝缘层、第二衬底、第三绝缘层和孤立的岛形第二器件层；岛形第二器件层上表面形成有至少一个凹槽，凹槽及岛形第二器件层的上表面覆盖有第四绝缘层；岛形第二器件层下方的第三绝缘层和第二衬底中形成有通孔，第二绝缘层覆盖第二衬底下表面及通孔的侧壁，下电极覆盖通孔。本发明可有效提高超声换能器阵列的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 换能器 单元 阵列 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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