[发明专利]烘干设备及加工系统在审
| 申请号： | 202111518574.4 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN114136058A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 蒲天;彭文信 | 申请（专利权）人： | 上海德瀛睿创半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;F26B9/10;F26B23/04;F26B25/18 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 查薇 |
| 地址： | 201700 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种烘干设备及加工系统，其中，该烘干设备包括：壳体组件，壳体组件内部设有烘干腔；加热组件，设置于壳体组件的内壁，用于加热烘干腔；真空组件，与烘干腔相连通，用于调节烘干腔的真空度；其中，壳体组件内部设置有多个装载位置。本发明提供的烘干设备可以实现对加工件的批量烘干，大幅提升了烘干效率。并且，该烘干设备能够降低烘干腔内部的氧气含量，避免烘干过程中加工件在有氧条件下发生反应，降低加工件损坏或变质的可能性，并能够降低附着于加工件上的水分的沸点，使水分能够在相对较低的温度下蒸发，有利于降低加热组件在烘干过程中的能耗，提升烘干设备的经济性，实现对加工件可靠且有效的烘干。 | ||
| 搜索关键词： | 烘干 设备 加工 系统 | ||
【主权项】：
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