[发明专利]透镜系统有效
| 申请号： | 202111514959.3 | 申请日： | 2021-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN114217451B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 罗先刚;袁理;孔维杰;刘玲;刘凯鹏;高平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B27/28 | 分类号： | G02B27/28;G02B27/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王文思 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种透镜系统，涉及光学测量仪器技术领域。该透镜系统设置于椭偏仪上，包括：会聚镜组和恢复镜组，其中，椭偏仪具有发射测量臂和接收测量臂，会聚镜组设置于发射测量臂的输出光路上，恢复镜组设置于接收测量臂的输入光路上；发射测量臂用于产生入射平行光束，会聚镜组用于将入射平行光束会聚，会聚后的光束经过被测样品反射后形成发散光束，恢复镜组用于将发散光束恢复为出射平行光束，接收测量臂用于接收出射平行光束。本发明可在300nm～700nm光谱范围内、在±1.8度视场范围内，将椭偏仪测量光束的直径减小到0.015mm～0.05mm，从而提高测量分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 系统 | ||
【主权项】：
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