[发明专利]在AFM-IR监测下用二氯甲烷/甲醇混合溶剂去除铜箔表面痕量杂质的方法在审

专利信息
申请号: 202111513671.4 申请日: 2021-12-10
公开(公告)号: CN114200164A 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: 王勇;薛奇;李林玲;滕超;章晨 申请(专利权)人: 深圳职业技术学院;南京大学
主分类号: G01Q60/24 分类号: G01Q60/24;G01N21/3563;G01N1/30;G01N1/34;G01N1/44
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 柏尚春
地址: 518000 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了在AFM‑IR监测下用二氯甲烷/甲醇混合溶剂去除铜箔表面痕量杂质的方法,该方法具有杂质去除效率高的优点。通过具有超高灵敏度的AFM‑IR检测技术对洗涤前后高频高速印刷电路板(PCB)用铜箔表面吸附杂质的相对含量进行表征,本发明可去除铜箔表面约95%的有机杂质。
搜索关键词: afm ir 监测 二氯甲烷 甲醇 混合 溶剂 去除 铜箔 表面 痕量 杂质 方法
【主权项】:
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