[发明专利]LPCVD石英舟的清洗方法在审
| 申请号： | 202111505989.8 | 申请日： | 2021-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN114192489A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 许礼;张中建;高荣刚;龚琴赟;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 中节能太阳能科技（镇江）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B3/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京创赋致远知识产权代理有限公司 11972 | 代理人： | 汤磊 |
| 地址： | 212132 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种LPCVD石英舟的清洗方法，采用碱洗液对石英舟进行碱洗。对于TOPCon工艺流程中LPCVD非晶硅制备方法使用的石英舟，采用碱洗液对石英舟进行清洗，去除表面的非晶硅层，但碱洗液不会与石英舟本身的氧化硅反应，因此清洗过程、清洗程度容易控制，仅需控制充分碱洗去除非晶硅层和充分水洗去除碱洗液，不仅去除非晶硅层的效果好，还没有对石英舟本身刻蚀的风险，石英舟的使用寿命大幅提高；相比于酸洗液，碱洗液的用料成本低，无酸洗产生的氟排放和废水处理成本。 | ||
| 搜索关键词： | lpcvd 石英 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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