[发明专利]一种铁电晶体的化学反应式薄膜剥离方法在审
| 申请号： | 202111500773.2 | 申请日： | 2021-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN114164497A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 王智勇;黄瑞;兰天 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | C30B33/00 | 分类号： | C30B33/00;C23C14/48;C30B29/14;C30B29/32;C30B29/30 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 林聪源 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种铁电晶体的化学反应式薄膜剥离方法，包括：在硅衬底A表面制备一层SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 电晶体 化学反应式 薄膜 剥离 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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