[发明专利]激光诱导等离子体光谱的脉冲激光自动对焦装置及方法有效
| 申请号： | 202111474904.4 | 申请日： | 2021-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN114384011B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 袁欢;柯伟;杨爱军;王小华;刘定新;荣命哲 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/73 |
| 代理公司： | 北京前审知识产权代理有限公司 11760 | 代理人： | 张波涛;张扬子 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于激光诱导等离子体光谱的脉冲激光自动对焦装置及方法，装置中，聚焦透镜间隔第二二向色镜设置以接收来自第二二向色镜的脉冲激光和连续可见激光，聚焦透镜支承且经由驱动装置调节处于不同透镜位置，靶材间隔聚焦透镜以接收来自聚焦透镜的脉冲激光和连续可见激光，连续可见激光在靶材上形成聚焦光斑，成像设备朝向第二二向色镜以采集聚焦透镜在不同透镜位置处的聚焦光斑图像，靶材、聚焦透镜、第二二向色镜和成像设备构成聚焦光斑的图像采集光路，控制器连接驱动装置和成像设备，其基于聚焦光斑面积与透镜位置关系生成聚焦光斑面积最小值对应的透镜位置。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 诱导 等离子体 光谱 脉冲 自动 对焦 装置 方法 | ||
【主权项】：
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