[发明专利]同频异构的压电超声波换能器及其制备方法有效
| 申请号： | 202111462511.1 | 申请日： | 2021-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN114160399B | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 张玉超;李加东;苗斌;周红宇;王光华;张士钦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人： | 席勇 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种同频异构的压电超声波换能器及其制备方法。所述同频异构的压电超声波换能器包括：形成于同一衬底上的用于发射超声波的第一PMUT单元及用于接收超声波的第二PMUT单元；其中，所述第一PMUT单元和所述第二PMUT单元的结构互不相同。本发明提供的同频异构的压电超声波换能器，通过在同一衬底上形成结构不同的第一PMUT单元和第二PMUT单元，第一PMUT单元和第二PMUT单元的具体结构可以根据实际所需的发射性能和接收性能进行设计，从而达到兼顾发射性能和接收性能的效果；而且第一PMUT单元和第二PMUT单元集成在同一芯片上，能够保证了两者的谐振频率相同。 | ||
| 搜索关键词： | 频异构 压电 超声波 换能器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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