[发明专利]一种测温装置及方法有效
申请号: | 202111460748.6 | 申请日: | 2021-11-30 |
公开(公告)号: | CN114060304B | 公开(公告)日: | 2022-12-16 |
发明(设计)人: | 李兵;李赏 | 申请(专利权)人: | 苏州中科科仪技术发展有限公司 |
主分类号: | F04D27/00 | 分类号: | F04D27/00;F04D19/04;G01D21/02 |
代理公司: | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人: | 张欣 |
地址: | 215163 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请提供了一种测温装置,用于测量涡轮分子泵的主轴温度,所述涡轮分子泵包括:泵体;主轴,可旋转的设置在所述泵体内;涡轮转子,设置在所述泵体内,与所述主轴固定连接形成轴系转子;静涡轮级,与所述涡轮转子交替配合布置;驱动装置,能够驱动所述主轴转动,使得所述涡轮转子能够相对所述静涡轮级转动;其特征在于,所述测温装置包括:至少一个距离传感器,设置在所述壳体内,用于获取所述主轴的径向尺寸变化;处理单元,与所述距离传感器电连接,用于根据所述主轴的径向尺寸变化,确定所述主轴的温度。 | ||
搜索关键词: | 一种 测温 装置 方法 | ||
【主权项】:
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