[发明专利]一种原子级厚度的铋氧基铁电薄膜及其制备工艺有效

专利信息
申请号: 202111456088.4 申请日: 2021-12-01
公开(公告)号: CN114014648B 公开(公告)日: 2023-05-19
发明(设计)人: 张林兴;杨倩倩;贺卓平;田建军 申请(专利权)人: 北京科技大学
主分类号: H10N97/00 分类号: H10N97/00
代理公司: 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 代理人: 岳野
地址: 100083*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明属于凝聚态物理、原子尺度铁电薄膜领域,涉及到一种原子级厚度的铋氧基铁电薄膜及其制备工艺。该铁电薄膜是以三层Bi‑O层为周期的铋氧基薄膜,结构为稳定的类四方相结构,其分子式为Bi(2‑x)MexO3,其中,x的取值为:0.1≤x≤0.6,Me为镧系元素。制备工艺为:将Bi与Me以相应的摩尔比配制成前驱体溶液,将溶液旋涂在基底上,经过干燥、退火后,得到这种新型层状铁电薄膜。本发明通过简单的溶胶‑凝胶法制备得到的原子级厚度铁电薄膜。在前驱液成分精准控制的前提下,可以通过控制前驱液的浓度、转速和湿度等因素制备出不同厚度的低尺寸薄膜。该系列薄膜表面平整、铁电性能优异,有望实现大面积应用。
搜索关键词: 一种 原子 厚度 铋氧基铁电 薄膜 及其 制备 工艺
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