[发明专利]一种高效稳定的二次离子提取装置在审
| 申请号： | 202111402511.2 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN114156158A | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 龙涛;齐超;刘敦一 | 申请（专利权）人： | 中国地质科学院地质研究所 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04;H01J49/06 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 岳野 |
| 地址： | 100037 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及离子质谱技术领域，提供了一种高效稳定的二次离子提取装置，包括样品靶、一次离子光学单元、二次离子提取单元、电子枪、离子透镜和离子偏转单元；一次离子光学单元产生一次离子；二次离子提取单元提取样品靶产生的二次离子；电子枪中和样品表面累积的电荷；离子透镜对来自二次离子提取单元的二次离子进行聚焦；离子偏转单元对经过聚焦后的二次离子进行低像差偏转。本发明由样品靶表面、第一提取电极、第二提取电极组成的提取电极实现二次离子的高效、稳定提取；一次离子在样品靶表面产生电荷积累时，采用电子枪中和样品靶表面电荷；由第一和第二双端双极性偏转板、单透镜组成的传输系统，实现离子的低像差、高效率传输。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 稳定 二次 离子 提取 装置 | ||
【主权项】：
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