[发明专利]一种多层薄膜材料热导率在线测量装置与测量方法在审
| 申请号： | 202111386063.1 | 申请日： | 2021-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN114137020A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 刘海韵;秦少玲;王婧雪;陈东旭 | 申请（专利权）人： | 河海大学 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 熊靖 |
| 地址： | 211100 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层薄膜材料热导率在线测量装置与测量方法，所述装置包括：长度不同的两组双端固支梁和三组金属电极；两组双端固支梁包括第一双端固支梁组和第二双端固支梁组；三组金属电极包括第一金属电极组、第二金属电极组和第三金属电极组。所述方法包括：对每一根双端固支梁施加恒定电流I进行加热，测量加热过程中每一根双端固支梁两端的瞬态电压，当温度达到稳态时，测量每一根双端固支梁两端的稳态电压；基于测量的数值，通过拟合并求解预设方程组，得到各层薄膜的热导率。本发明具有操作简单，成本低，无需真空环境，测量速度快的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 薄膜 材料 热导率 在线 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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