[发明专利]一种基于微流控光学相控阵的二维激光扫描芯片及装置有效
| 申请号： | 202111385082.2 | 申请日： | 2021-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN114100713B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 孙彩明;李炳辉;张爱东 | 申请（专利权）人： | 深圳市人工智能与机器人研究院 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;B01F33/302;G01B11/24;G01S17/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吕鑫 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区坂*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于微流控光学相控阵的二维激光扫描芯片，其中光波导相控阵芯片包括光波导阵列，光波导阵列沿光路划分有相位调制区和天线阵列区；位于天线阵列区的光波导沿轴向设置有多个光栅；液滴微流控芯片包括覆盖天线阵列区的第一调制腔以及覆盖相位调制区的第二调制腔；第一调制腔内微液滴作为位于天线阵列区内光波导的包层，第二调制腔内微液滴作为位于相位调制区内光波导的包层；通过改变从入液孔注入液体的流速，可以改变流经第一调制腔以及第二调制腔内微液滴的折射率，进而可以改变光波导包层的折射率，从而实现大角度激光扫描范围的调制。本发明还提供了一种基于微流控光学相控阵的二维激光扫描装置，同样具有上述有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微流控 光学 相控阵 二维 激光 扫描 芯片 装置 | ||
【主权项】：
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