[发明专利]一种石英玻璃本征应力测试的方法在审
| 申请号： | 202111372186.X | 申请日： | 2021-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN114136516A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 赵明强;刘军汉;车驰骋 | 申请（专利权）人： | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所） |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;B24B7/24;C03B25/00 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 范三霞 |
| 地址： | 430000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英玻璃本征应力测试的方法，包括：提供石英玻璃样件，并对所述石英玻璃进行表面精磨抛光；对经过表面精磨抛光的石英玻璃进行表面腐蚀去机械应力；对经过表面腐蚀去机械应力的石英玻璃采用退火工艺消除热应力；对通过退火工艺消除热应力的石英玻璃采用双折射应力仪进行本征应力测试。本发明通过对所述石英玻璃进行表面精磨抛光，然后进行表面腐蚀去机械应力，以及采用退火工艺消除热应力，不仅测试操作简单，并可有效剔除机械应力和热应力的干扰，准确测得石英玻璃的本征应力，而且可以筛选出性能优越的石英玻璃毛坯，剔除性能较差的石英玻璃毛坯，在工程应用的前期把好关，降低后续零件加工的不合格品率和节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英玻璃 应力 测试 方法 | ||
【主权项】：
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