[发明专利]一种改善晶圆显影中光刻胶漂胶的方法在审
| 申请号： | 202111368347.8 | 申请日： | 2021-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN116136651A | 公开（公告）日： | 2023-05-19 |
| 发明（设计）人： | 吴沛飞;赵万利;葛欢 | 申请（专利权）人： | 全球能源互联网研究院有限公司;国家电网有限公司;国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/40;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京安博达知识产权代理有限公司 11271 | 代理人： | 徐国文 |
| 地址： | 102209 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种改善晶圆显影中光刻胶漂胶的方法，包括下列步骤：(1)将晶圆置于HMDS气氛的烘箱中，在晶圆表面形成厚度为5～30纳米的HMDS粘膜用作为光刻胶增粘剂；(2)在晶圆表面已形成的所述HMDS粘膜上面旋涂光刻胶薄膜，然后烘干固化；(3)用步进扫描式I线光刻机对光刻胶薄膜进行曝光；(4)对晶圆表面旋转水洗、将显影液旋转式布满光刻薄膜表面且予以浸泡、旋转甩去显影液、再次旋转水洗；重复执行步骤(1)和(4)。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 显影 光刻 胶漂胶 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于全球能源互联网研究院有限公司;国家电网有限公司;国网安徽省电力有限公司电力科学研究院，未经全球能源互联网研究院有限公司;国家电网有限公司;国网安徽省电力有限公司电力科学研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111368347.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种衣物处理设备与衣物处理剂的关联方法及系统
- 下一篇：手持式吸尘器
