[发明专利]确定带电粒子束的能量宽度的方法在审
| 申请号： | 202111333188.8 | 申请日： | 2021-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN114488263A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | P·C·铁梅耶 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01T1/36 | 分类号： | G01T1/36 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;周学斌 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种确定带电粒子束的能量宽度的方法，其包含以下步骤：提供带电粒子束；将所述射束引向样本；以及从透射穿过所述样本的带电粒子流形成能量分散束。如这里所定义的，所述方法包含以下步骤：在狭缝平面中提供狭缝元件，并且使用所述狭缝元件来阻挡所述能量分散束的一部分，以及以这样的方式在所述狭缝平面的位置处修改所述能量分散束，即所述能量分散束在所述狭缝元件处被部分阻挡的步骤。对所述能量分散束的未阻挡部分进行成像，并且确定所述成像的能量分散束的强度梯度，利用所述强度梯度可以确定所述带电粒子束的所述能量宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 带电 粒子束 能量 宽度 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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