[发明专利]一种单晶炉液体连续加料装置在审
| 申请号： | 202111300662.7 | 申请日： | 2021-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN114016126A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 张忠涛;曹玉宝;尹嘉琦;李万朋;王建波 | 申请（专利权）人： | 连城凯克斯科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/12 | 分类号： | C30B15/12;C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于单晶硅制备技术领域，具体的说是一种单晶炉液体连续加料装置，包括拉晶炉、熔料炉、拉晶坩埚和熔料坩埚；所述熔料坩埚外侧安装有加热器；所述熔料炉顶部安装有提渣装置；所述拉晶炉与熔料炉之间设有支撑管；所述支撑管内部安装有上料管；所述拉晶炉与熔料炉之间连通有气压平衡管路，气压平衡管路上安装有控制阀；将硅料送入熔料坩埚中，加热器将硅料熔化，关闭控制阀，给熔料炉内部加压，利用压差效应，将熔料坩埚中的熔料通过上料管导入拉晶坩埚中，完成一次上料，进而打开控制阀，调节压差，保护设备，再向熔料坩埚中投入硅料，拉晶和熔料同时进行，无需再在拉晶炉内熔料，大量节省时间，更方便提渣，提高单晶炉工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 液体 连续 加料 装置 | ||
【主权项】：
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