[发明专利]一种体声波谐振器在审
| 申请号： | 202111290304.2 | 申请日： | 2021-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN113992183A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 南天翔;曹昌铭;田世伟 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/13;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 李丹;栗若木 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本文公开一种体声波谐振器，包括：压电材料薄膜、底电极、顶电极和衬底；其中，压电材料薄膜设置有一个以上第一通孔；底电极和/或顶电极为包含一个以上预设结构的预设电极；其中，第一通孔在预设电极顶部所在的平面上的第一投影区域与平面中无电极覆盖区域的重叠区域为第一镂空区域；第一镂空区域和第一通孔用于通过腐蚀性流体，以在衬底刻蚀空腔。本发明实施例在不需要应用牺牲层工艺、衬底背面光刻工艺以及布拉格反射层的情况下，通过第一镂空区域和第一通孔，将腐蚀性流体流向衬底刻蚀出空腔，简化了体声波谐振器的制备工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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