[发明专利]一种基于二元闪耀亚波长光栅的、垂直耦合的光栅耦合器及制备方法有效
| 申请号： | 202111242481.3 | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN113933941B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 杨思攀;程秀兰 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G02B6/293 | 分类号： | G02B6/293;G02B6/26 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于二元闪耀亚波长光栅的、垂直耦合的光栅耦合器，自上而下的功能层、键合层和衬底层。功能层为脊型结构，包括输入/出光耦合器、光子波导器件区域。输入与输出光耦合器呈对称设置，内均设有周期性排布的二元亚波长闪耀光栅阵列，每个周期中设置有一个不同宽度的主级和次级亚波长光栅，相邻亚波长光栅之间形成宽度不一的间隔槽，最后一个次级亚波长光栅与中间的光波导区域相临近。本发明在降低器件设计复杂度的同时优化设计出一种基于二元闪耀亚波长光栅的光栅耦合器，以实现最大的光耦合效率，垂直耦合还极大地方便了器件的测试和后期芯片的封装。本发明所设计的光子器件结构较紧凑、制备工艺简单、可重复性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 二元 闪耀 波长 光栅 垂直 耦合 耦合器 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学，未经上海交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111242481.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种双环耦合结构的生化传感器
- 下一篇：一种海量测试驱动自动生成系统和方法
