[发明专利]一种有气泡隔离层的固态型体声波谐振器在审
| 申请号： | 202111241041.6 | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN114039572A | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 陈功田 | 申请（专利权）人： | 郴州功田电子陶瓷技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 深圳市鼎圣霏凡专利代理事务所(普通合伙) 44759 | 代理人： | 徐晶 |
| 地址： | 423000 湖南省郴*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有气泡隔离层的固态型体声波谐振器，包括LN基底层、Sn键合层、布喇格反射层和压电层，所述LN基底层的顶部设置有Sn键合层，所述压电层位于布喇格反射层的顶部，所述布喇格反射层和Sn键合层之间设置有Pt气泡隔离层，所述布喇格反射层包括BCB低声阻抗反射层和ZnO高声阻抗反射层，所述压电层包括从上至下依次设置的Al上电极、AIN薄膜、Pt下电极；本发明的有益效果是：Sn键合层在键合固化过程中产生气泡，Pt气泡隔离层的设置可以阻挡Sn键合层产生的气泡，进而防止气泡进入AIN薄膜，影响AIN薄膜的质量，确保AIN薄膜无翘起、凹陷，有助于保证制备得到的固态型体声波谐振器的器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气泡 隔离 固态 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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