[发明专利]一种扫描电化学显微镜探针及其制备方法在审
| 申请号： | 202111217665.4 | 申请日： | 2021-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN113884708A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 潘晓霞;屈泽华;高瑞华;胡晓月 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01Q70/16 | 分类号： | G01Q70/16;G01Q70/08;G01Q60/60;G01N15/10 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;陆尤 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于电化学技术领域，具体为一种扫描电化学显微镜探针及其制备方法。本发明制备方法包括：以纳米薄膜的形式制备探针的牺牲层；以纳米薄膜的形式在牺牲层上制备探针的绝缘层，绝缘层厚度控制在5‑50 nm；以纳米薄膜的形式在绝缘层上制备金属电极层，金属电极层的厚度控制在5‑50 nm；利用有机溶剂去除牺牲层释放绝缘层和金属层双层薄膜；双层薄膜的内应变梯度促使绝缘层和金属电极层卷曲，形成由绝缘层包裹金属电极层的微管结构。该结构可用作扫描电化学显微镜探针；通过材料和结构调节，实现更高的探测性能和显微成像分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 电化学 显微镜 探针 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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