[发明专利]一种单晶硅炉有效
| 申请号： | 202111198541.6 | 申请日： | 2021-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN113913919B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 邱香 | 申请（专利权）人： | 深圳市彦瑞鑫模具塑胶有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06;C30B15/30 |
| 代理公司： | 深圳市鼎智专利代理事务所(普通合伙) 44411 | 代理人： | 宋腾飞 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区观澜街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种单晶硅炉，包括炉本体和旋转提拉驱动组件，所述炉本体内设置有石英坩埚和加热器；所述旋转提拉驱动组件包括提拉气缸、导气盒、旋转部件以及提拉管，其中，所述导气盒配置在所述炉本体的外部，其内设置有导气腔，外壁设置有与所述导气腔连通的第一接头，所述第一接头用于连接配重源装置，所述提拉管为中空的长管结构，其一端与所述导气腔连通，另一端设置有闭合该中空长管开口的提拉头，所述提拉头伸入所述炉本体内；所述旋转部件用于驱动所述提拉管旋转，所述提拉气缸的输出端连接所述导气盒，用于驱动所述提拉头完成拉引工序；本发明提出一种单晶硅炉，克服了过去晶体在高晶转下生长易晃动的缺点，有效改善晶体的径向均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 | ||
【主权项】：
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