[发明专利]压力监视装置、树脂密封装置及压力监视方法在审
| 申请号： | 202111194576.2 | 申请日： | 2021-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN114603763A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 中山栄二;福岛英彦 | 申请（专利权）人： | 山田尖端科技株式会社 |
| 主分类号： | B29C43/18 | 分类号： | B29C43/18;B29C43/58;B29C45/02;B29C45/76;G01L19/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 王茜;臧建明 |
| 地址： | 日本长野县*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够抑制成形不良的发生的压力监视装置、树脂密封装置及压力监视方法。压力监视装置(100)包括：吸附压力传感器(122)，检测使隔离膜(RF)吸附到模腔(201)的排气孔(322)的吸附压；脱气压力传感器(111)，检测对模腔(201)内的空气进行排气的排气孔(311)的脱气压；以及监视部(110)，与吸附压力传感器(122)及脱气压力传感器(111)连接，监视部(110)监视吸附压及脱气压中的至少一者的每单位期间的变化量，当在吸附压及脱气压的每单位期间的变化量增大的减压期之后且吸附压及脱气压的每单位期间的变化量逐渐接近0的均衡期变化量超过规定量的情况下，判断为错误。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 监视 装置 树脂 密封 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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