[发明专利]大尺寸薄壁X射线聚焦镜自动化复制装置有效
| 申请号： | 202111193072.9 | 申请日： | 2021-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN113832505B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 王波;廖秋岩;丁飞;刘玉涛;薛家岱;吴开济;李铎;杨彦佶;陈勇 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C25D1/20 | 分类号： | C25D1/20;C25D1/06;G21K1/08 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 郭莹莹 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 大尺寸薄壁X射线聚焦镜自动化复制装置，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该复制装置，极大程度的保证了复制过程工艺的一致性和可控性，大大缩短聚焦镜片的生产周期，提高复制的效率，节省人力成本，同时可根据不同尺寸聚焦镜片的复制需求，进行灵活的调整，具备高适应性。分离机构、夹持机构和密封罩均安装在基座上，芯轴模具安装在夹持机构上，分离机构用于分离芯轴模具上的镜片，密封罩罩设在芯轴模具、分离机构、夹持机构上使三者处于密封环境，并由液氮循环装置向芯轴模具注入液氮以及向密封罩内注入氮气，方便镜壳的脱离。应用本发明专利，只需要垂直轴的运动即可满足复制过程的需求，避免了复杂的运动控制，实现批量复制。 | ||
| 搜索关键词： | 尺寸 薄壁 射线 聚焦 自动化 复制 装置 | ||
【主权项】：
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