[发明专利]磁场感测元件补偿电路及补偿方法有效
| 申请号： | 202111189830.X | 申请日： | 2021-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN113640713B | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 袁辅德 | 申请（专利权）人： | 苏州纳芯微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/02 | 分类号： | G01R33/02;H01L43/06 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 沈晓敏 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种磁场感测元件补偿电路及补偿方法，补偿电路包括至少一个磁场感测元件、至少一个参考电阻、至少一个电流源和处理模块；每个磁场感测元件分别包括感测基板、感测反应层、至少两个感测电极和至少两个感测掺杂区；每个参考电阻分别包括电阻基板、电阻反应层、至少两个电阻电极和至少两个电阻掺杂区；感测反应层、感测掺杂区与电阻反应层、电阻掺杂区形成相同的掺杂结构，磁场感测元件的平均电流配置为在第一平面内流动，电阻反应层具有第一厚度和第一长度，且参考电阻内平均电流至少部分沿第一厚度方向流动，第一厚度方向垂直于第一平面。本发明提供的补偿电路，保证了温度的一致性和补偿的应力敏感程度，提高了补偿精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 磁场 元件 补偿 电路 方法 | ||
【主权项】：
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