[发明专利]基于表面等离激元的高精度光学验电装置及系统有效
申请号: | 202111178043.5 | 申请日: | 2021-10-09 |
公开(公告)号: | CN113917243B | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
发明(设计)人: | 宋婷婷;解宜原;叶逸琛;杨德刚;张万里;胡云皓 | 申请(专利权)人: | 重庆师范大学 |
主分类号: | G01R29/12 | 分类号: | G01R29/12;G01R19/145 |
代理公司: | 重庆萃智邦成专利代理事务所(普通合伙) 50231 | 代理人: | 许攀 |
地址: | 401331 重*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本申请涉及基于表面等离激元的高精度光学验电装置及系统,具体而言,涉及电荷量检测领域。本申请提供的基于表面等离激元的高精度光学验电装置,当需要待测电荷区域的电荷量进行检测时,待测电荷区域的电荷通过该验电部进入到该第一薄膜和第二薄膜上,第一薄膜和第二薄膜在同性电荷的斥力的作用下相互远离,并且由于该连接部的存在,该第一薄膜、第二薄膜和连接部之间形成的夹角变大,进而使得光信号与该第一光栅部和第二光栅部表面的耦合情况发生改变,即改变了传递到该光探测器上的光信号的光谱,通过光探测器检测的光信号的光谱的变化情况,并根据该光谱的变化情况与待测电荷量的对应关系,得到待测电荷量。 | ||
搜索关键词: | 基于 表面 离激元 高精度 光学 装置 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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