[发明专利]基于铁磁薄膜与法布里珀罗腔的磁场传感系统有效
| 申请号： | 202111163301.2 | 申请日： | 2021-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN113933764B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 于长秋;马世昌;陈志远;王晓旭;燕玉明;项晨晨;金蒙豪;周铁军 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01R33/032 | 分类号： | G01R33/032 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 杨舟涛 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种基于铁磁薄膜与法布里珀罗腔的磁场传感系统，其中铁磁薄膜为钇铁石榴石薄膜，放置在完全固定的法布里珀罗腔的内部，腔内的光场可以双向透过薄膜，当外界磁场信号存在时，薄膜对磁场产生的响应由腔的透射特性反映出来，获得利用光学谐振腔透射特性解调的磁场传感系统。通过选取腔和薄膜的结构参数，在铁磁薄膜与法布里珀罗腔构成的传感单元内同时获得高品质因数的光学模式和高频率的力学模式，利用直流磁场调谐铁磁共振频率与腔的力学模式频率接近，获得谐振增强，提升交流磁场传感灵敏度。实现了力学模式和光学模式的解耦使得同时获取高光学品质因数和高频率力学模式成为可能，为高频磁场探测提供了新的技术方案。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 薄膜 法布里珀罗腔 磁场 传感 系统 | ||
【主权项】：
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