[发明专利]一种类金刚石涂层及金属表面镀制类金刚石涂层的方法在审
申请号: | 202111158697.1 | 申请日: | 2021-09-30 |
公开(公告)号: | CN115874142A | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 施木生 | 申请(专利权)人: | 东莞新科技术研究开发有限公司 |
主分类号: | C23C14/02 | 分类号: | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/32;C23C14/35 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫 |
地址: | 523087 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种类金刚石涂层及金属表面镀制类金刚石涂层的方法。所述类金刚石涂层,包括在金属工件表面自下而上依次设置金属过渡层、类金刚石层,所述金属过渡层的厚度为80nm‑100nm。本发明依次采用真空磁控溅射镀膜和真空离子镀膜的工艺,在金属工件表面上设置金属过渡层、类金刚石层,能够解决传统镀膜方法针对复杂结构工件镀膜不均匀的问题,得到的镀膜金属工件具有高硬度、优良的抗摩擦性能、化学稳定性等优点,各涂层间结合力强,表面涂层均匀,能有效解决零件产品品质量低下和频繁停机更换工件的问题。 | ||
搜索关键词: | 种类 金刚石 涂层 金属表面 镀制类 方法 | ||
【主权项】:
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