[发明专利]压力检测元件在审
| 申请号: | 202111158355.X | 申请日: | 2021-09-30 |
| 公开(公告)号: | CN114279618A | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
| 发明(设计)人: | 小川雅司;今井敦 | 申请(专利权)人: | 长野计器株式会社 |
| 主分类号: | G01L9/12 | 分类号: | G01L9/12;G01L19/06 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张泽洲;王玮 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 压力检测元件(1)具备具有第1基板电极(22)的第1基板(2)、具有第2基板电极(32)的第2基板(3)、具有第1隔膜电极部(42)及第2隔膜电极部(43)的感应部(4)。并且,在第1基板(2)的第1基板主体部(21),形成将第1基板主体部(21)贯通的第1压力导入孔(23)、被在与第1隔膜电极部(42)相向的面设置而与第1压力导入孔(23)连通的第1槽部(24)。此外,在第2基板(3)的第2基板主体部(31),形成将第2基板主体部(31)贯通的第2压力导入孔(33)、被在与第2隔膜电极部(43)相向的面设置而与第2压力导入孔(33)连通的第2槽部(34)。 | ||
| 搜索关键词: | 压力 检测 元件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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