[发明专利]压力检测元件在审

专利信息
申请号: 202111158355.X 申请日: 2021-09-30
公开(公告)号: CN114279618A 公开(公告)日: 2022-04-05
发明(设计)人: 小川雅司;今井敦 申请(专利权)人: 长野计器株式会社
主分类号: G01L9/12 分类号: G01L9/12;G01L19/06
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 张泽洲;王玮
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 压力检测元件(1)具备具有第1基板电极(22)的第1基板(2)、具有第2基板电极(32)的第2基板(3)、具有第1隔膜电极部(42)及第2隔膜电极部(43)的感应部(4)。并且,在第1基板(2)的第1基板主体部(21),形成将第1基板主体部(21)贯通的第1压力导入孔(23)、被在与第1隔膜电极部(42)相向的面设置而与第1压力导入孔(23)连通的第1槽部(24)。此外,在第2基板(3)的第2基板主体部(31),形成将第2基板主体部(31)贯通的第2压力导入孔(33)、被在与第2隔膜电极部(43)相向的面设置而与第2压力导入孔(33)连通的第2槽部(34)。
搜索关键词: 压力 检测 元件
【主权项】:
暂无信息
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