[发明专利]一种温度压力一体化传感器在审
申请号: | 202111157492.1 | 申请日: | 2021-09-30 |
公开(公告)号: | CN113916287A | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 丁云;李资庭;周旭东;吴伟康 | 申请(专利权)人: | 杭州云谷科技股份有限公司 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02;G01D11/00;G01D11/16 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 林松海 |
地址: | 310052 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种温度压力一体化传感器,包括传感器本体、第一温度传感器、隔离膜片、压力传感器、基座;所述传感器本体的前部表面设置有隔离膜片并具有间隙,隔离膜片用于传递压力信号,传感器本体的后部设置有放置压力传感器和基座的腔体,基座覆盖腔体的开口,压力传感器位于腔体内且固定在基座上,传感器本体的前部和后部之间设置有水平方向的通孔,且通孔、隔离膜片和传感器本体之间的间隙,以及传感器本体后部的腔体,构成连通的引压空间,引压空间内填充有液体,以便将隔离膜片上的压力信号传递到压力传感器;所述传感器本体设有与通孔平行的测温孔。本发明可方便实现温度和压力的同时测量和准确测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 温度 压力 一体化 传感器 | ||
【主权项】:
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